化学成膜反应条件的探讨

• 作者: 王永刚 田燕 齐承刚
• 来源期刊: 山东轻工业学院学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 化学反应成膜 熵值 反应速率 成膜质量
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TQ639.1
• 字数: 2656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4280.2004.04.004

摘要

通过化学反应可以在某些固体表面上形成一层化学薄膜,膜的质量是由成膜时膜表面的化学反应速率决定的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永刚	山东轻工业学院化学工程系	10	39	4.0	6.0
2	齐承刚	山东轻工业学院化学工程系	9	59	3.0	7.0
3	田燕	山东轻工业学院化学工程系	4	7	1.0	2.0