微型离子泵抽速测量方法的探讨

• 作者: 冯葵
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 抽速测量 离子泵 定容法
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 39-40
• 页数: 2页
• 分类号: TB752+52
• 字数: 1291字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.01.009

摘要

探讨了用定容法测量微型离子泵抽速的装置及程序.并给出了抽速测量不确定度的简化评估.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯葵		1	2	1.0	1.0