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摘要:
设计开发了一台用于微细电火花加工的微细加工装置,它主要由以下几个部分组成:花岗岩基座、精密伺服机构、精密高速旋转主轴、线电极磨削装置、微细电火花加工用的RC脉冲电源、加工状态检测系统和控制系统.在该装置上可以进行微细轴、微细孔和微三维结构的加工.具有4轴3联动功能,控制方便,容易实现数控插补功能.加工实验表明,在该装置上能稳定地加工出最小直径为12 μm的微细轴以及25 μm的微细孔,其长径比可分别达到25和10以上.并对半导体硅材料进行了加工实验,加工出的硅微梁深宽比达15以上.此外还给出了所加工的微三维结构实例.
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文献信息
篇名 微细电火花加工装置的设计与应用
来源期刊 微细加工技术 学科 工学
关键词 微细电火花加工 装置 微细轴 微细梁 微三维结构
年,卷(期) 2004,(2) 所属期刊栏目 微机械加工技术
研究方向 页码范围 55-59,65
页数 6页 分类号 TG661
字数 2932字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张勇 哈尔滨工业大学机电学院 126 1376 20.0 31.0
2 王振龙 哈尔滨工业大学机电学院 170 3395 35.0 51.0
3 胡富强 哈尔滨工业大学机电学院 21 369 11.0 19.0
4 赵万生 哈尔滨工业大学机电学院 204 4482 37.0 54.0
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研究主题发展历程
节点文献
微细电火花加工
装置
微细轴
微细梁
微三维结构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微细加工技术
双月刊
1003-8213
43-1140/TN
大16开
湖南省长沙市
1983
chi
出版文献量(篇)
672
总下载数(次)
2
总被引数(次)
4940
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