SQUID与半导体样品的无损检测

• 作者: 乔蔚川 钟青
• 来源期刊: 现代测量与实验室管理
• 学科: 工学
• 关键词: SQUID 半导体 无损检测
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 计量测试
• 页码范围: 31-32
• 页数: 2页
• 分类号: TB972
• 字数: 1333字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-8764.2004.06.008

摘要

随着半导体集成度的不断提高,半导体检测技术也不断拓展和更新.SQUID是目前所知的最灵敏的磁场和磁通探测器.本文将介绍一种以SQUID为探头的、非接触式的、半导体材料和器件检测装置.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟青		13	23	3.0	4.0
2	乔蔚川		1	4	1.0	1.0