ITO薄膜的溶胶-凝胶法制备

• 作者: 刁庚秀 陈文彬
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: ITO薄膜 溶胶-凝胶 光电特性
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 249-253
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 5068字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2004.04.013

摘要

介绍了几种用溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的工艺方法,用其中一种无机的方法成功制备了ITO透明导电膜.当薄膜厚度为300 nm左右时,所得ITO薄膜在可见光区域内的平均透过率在85%以上,电阻率最低可达0.15 Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文彬	电子科技大学光电信息学院	45	202	8.0	11.0
2	刁庚秀	电子科技大学光电信息学院	3	13	2.0	3.0