平面四象限光电定位传感器

• 作者: 蔡颖岚
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 定位传感器 基准位 屏蔽面
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 光电技术应用
• 页码范围: 136-138
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.14
• 字数: 1215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2004.02.016

摘要

介绍了用于平面及角度定位的四象限光电传感器,分析了其工作原理.利用该传感器构造了光刻机掩模板的平面定位系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡颖岚		2	7	1.0	2.0