热氧化磁控溅射金属锌膜合成一维ZnO纳米棒

• 作者: 李玉国 王书运 王强 石礼伟 薛成山
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 热氧化 氧化锌 纳米棒 特性
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1211-1214
• 页数: 4页
• 分类号: TB443
• 字数: 801字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.10.003

摘要

利用退火热氧化射频磁控溅射金属锌膜的方法在Si(111)衬底上制备了一维ZnO纳米棒,同时用多种测试手段对样品的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了研究.XRD,SEM和TEM的测试结果表明,ZnO纳米棒为单晶相六方纤锌矿结构,呈头簪状向外发散生长,直径在30～60nm左右,其长度可达几μm.PL谱测试结果表明:在波长为280nm光的激发下,在372nm处有强的近带边紫外光发射和516nm处的较微弱深能级绿光发射.说明合成的一维ZnO纳米棒的结晶质量和光学性能优良.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玉国	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	44	186	7.0	11.0
2	王书运	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	57	450	11.0	19.0
3	薛成山	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	117	476	11.0	13.0
4	王强	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	35	177	7.0	11.0
5	石礼伟	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	17	139	7.0	11.0