钛酸锶钡(BST)薄膜的介电性能研究

• 作者: 杨传仁 符春林 赵莉 陈宏伟 高志强
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶钡 薄膜 膜厚 晶粒尺寸 介电性能
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 615-617
• 页数: 3页
• 分类号: TN384
• 字数: 2143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.05.029

摘要

采用射频磁控溅射法制备了BaxSr1-xTiO3(简称BST)薄膜材料,研究了不同膜厚、晶粒尺寸的BST薄膜的介电系数温度特性(εr-T)、频率特性(εr-f)、电压特性(εr-U)及损耗的温度特性(tgδ -T)、频率特性(tgδ -f),找出了BST薄膜的非线性、损耗随尺度变化的规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨传仁	电子科技大学微电子与固体电子学院	69	525	11.0	18.0
2	陈宏伟	电子科技大学微电子与固体电子学院	51	360	10.0	15.0
3	符春林	电子科技大学微电子与固体电子学院	19	239	10.0	15.0
4	赵莉	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	54	5.0	6.0
5	高志强	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	54	5.0	6.0