高分辨率丝网掩模版制作工艺研究

• 作者: 何中伟 周冬莲
• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 丝网掩模版 直接感光胶乳剂膜 毛细管软片乳剂膜 分辨率 制作方法
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TS871.13

摘要

简要介绍了目前丝网掩模版制作的几种方法，重点介绍了影响“直接感光胶乳剂膜”和“毛细管软片乳剂膜”两种掩模版质量各种可能因素。针对掩模版制作工艺中的常见问题，提出了解决办法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何中伟		22	17	1.0	4.0
2	周冬莲		14	1	1.0	1.0