SOI热光4×4光开关阵列的研制

• 作者: 余金中 夏金松 樊中朝 王章涛 陈少武
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 马赫-曾德干涉仪 开关阵列 光开关
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1573-1575
• 页数: 3页
• 分类号: TN252
• 字数: 1511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.12.005

摘要

设计和制作了由5个2×2多模干涉马赫-曾德开关元组成的重排无阻塞型SOI 4×4热光开关阵列.阵列的最小和最大附加损耗分别为6.6和10.4dB,阵列的串扰为-12 ～-19.8dB,光开关阵列的开关速度小于30μs,单个开关元的功耗大约为330mW.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余金中	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	110	703	13.0	21.0
2	樊中朝	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	13	220	8.0	13.0
3	陈少武	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	39	387	9.0	19.0
4	夏金松	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	12	71	5.0	8.0
5	王章涛	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室	5	25	3.0	5.0