BaTiO3系PTC热敏电阻溅射电极的微观结构

• 作者: 周东祥 赵加强 龚树萍
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: BaTiO3系PTC热敏电阻 溅射电极 微观结构 欧姆接触
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 敏感元器件
• 页码范围: 29-31,38
• 页数: 4页
• 分类号: TN373
• 字数: 3945字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2004.05.010

摘要

通过对磁控溅射工艺制备的BaTiO3系PTC热敏电阻电极的研究,发现在瓷片表面沉积镍或铝,无需热处理即可与瓷片形成良好的欧姆接触,并实现了电极与瓷片间良好的附着.利用扫描电镜对溅射形成的镍层进行观察,发现溅射成膜属于层核生长型,晶粒无择优取向,膜层致密,厚度均匀,与瓷片接触紧密,并与瓷片表面形貌有着较好的一致性.但与化学镀镍工艺制备的镍层相比,晶粒大小不够均匀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周东祥	华中科技大学电子科学与技术系	161	1320	16.0	25.0
2	龚树萍	华中科技大学电子科学与技术系	88	698	13.0	18.0
3	赵加强	华中科技大学电子科学与技术系	2	9	2.0	2.0