用于光波导的高性能聚合物薄膜制备工艺研究

• 作者: 宁娜 朱大庆 金曦 韩晓星
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 光波导 薄膜 旋涂 聚合物
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 材料和元件
• 页码范围: 315-318
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 2511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2004.03.005

摘要

讨论了在硅基片上旋涂用于光波导的PS聚合物薄膜时,部分工艺参数,如溶液浓度、旋涂转速、溶剂挥发性、吸水性等对薄膜质量的影响,得到了薄膜厚度随浓度和转速变化的经验公式.分析了造成薄膜缺陷的原因,并对薄膜的性能如薄膜厚度、红外吸收特性和表面轮廓进行了测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱大庆	华中科技大学激光技术国家重点实验室	24	243	9.0	15.0
2	金曦	华中科技大学激光技术国家重点实验室	8	62	4.0	7.0
3	韩晓星	华中科技大学激光技术国家重点实验室	2	25	1.0	2.0
4	宁娜	华中科技大学激光技术国家重点实验室	2	43	2.0	2.0