超硬薄膜研究的新进展

• 作者: 吕反修 唐伟忠 孙晓军 张增毅 李成明
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 硬度 超硬薄膜 纳米多层与复合薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 2-5
• 页数: 4页
• 分类号: TG156.8|TB43
• 字数: 4202字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2004.04.002

摘要

本文介绍了碳系列薄膜、纳米多层及纳米复合超硬薄膜近年来所取得的研究成果,重点是氮化物纳米多层与复合超硬薄膜的研究状况,并对纳米多层膜在应用中存在的问题提出了解决的思路,指出了超硬薄膜的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料学院	106	860	16.0	21.0
3	孙晓军	中国科学院兰州化学物理研究所	28	303	11.0	16.0
4	李成明	北京科技大学材料学院	71	480	12.0	19.0
5	张增毅		3	75	3.0	3.0