扩散阻挡层与离子束轰击能量对Cu-Cr合金膜结合强度的影响

• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散阻挡层 Cu-Cr合金膜 离子束辅助沉积
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.93
• 字数: 2082字
• 语种: 中文

摘要

用离子束辅助磁控溅射和离子束溅射共沉积的方法分别在TiN、CrN扩散阻挡层上沉积了Cu-Cr合金膜.用滚动接触疲劳实验评价结合强度,结果发现:扩散阻挡层可明显提高结合强度;CrN上的Cu-Cr膜的结合强度最高;高能离子轰击得到的Cu-Cr合金膜具有更宽的过渡层而具有更高的结合强度.