扩散硅压力传感器应力计算建模

• 作者: 李进军 石成英
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 应力计算 扩散硅 压力情感器
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 信号与系统
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1489字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2004.01.008

摘要

本文依据弹性力学厚板原理建立扩散硅压力传感器的应力计算模型,根据电桥原理得到应力与其输出电压之间的关系.计算结果与标定值比较,吻合良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李进军		1	10	1.0	1.0
2	石成英		1	10	1.0	1.0