使用SPM的纳米级加工技术新进展

• 作者: 袁哲俊
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 纳米级加工 原子操纵
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 45-49
• 页数: 5页
• 分类号: TB383|TH742.7
• 字数: 2825字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.01.009

摘要

扫描探针显微镜(SPM)现在不仅用于表面微观形貌的检测,同时也用于纳米超精密加工和原子操纵.该文介绍了用STM和AFM进行纳米级加工的各种最新方法:针尖直接雕刻,针尖光刻加工,局部阳极氧化,原子沉积形成纳米点,原子去除形成沟槽微结构,多针尖加工, 原子自组装形成三维结构等.使用SPM的纳米级加工对发展微型机械、纳米电子学和微机电系统具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁哲俊	哈尔滨工业大学机电工程学院	72	1481	23.0	36.0