ANSYS在梁-膜-岛结构设计中的应用

• 作者: 孙承松 杨芳
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: ANSYS 有限单元法 应力分析 梁-膜-岛
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 信号与系统
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.12|TP202
• 字数: 1275字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2004.01.007

摘要

本文利用ANSYS软件对扩散硅力敏器件进行了力学分析,给出了不同尺寸梁-膜-岛结构的应力分布曲线以及力敏电阻灵敏度分布曲线,为力敏电阻的合理布置提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙承松	沈阳工业大学信息科学与工程学院	17	134	6.0	11.0
2	杨芳	沈阳工业大学信息科学与工程学院	2	1	1.0	1.0