高精度电阻、电容形成技术

• 作者: 何磊 吴晓鸫 徐政
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 掺杂 扩散 注入 溅射
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 器件与制造
• 页码范围: 50-53,5
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 4500字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2004.02.012

摘要

本文介绍了几种集成电路物工艺中高精度电阻和电容的制作方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴晓鸫		6	2	1.0	1.0
2	徐政		14	17	3.0	3.0
3	何磊		3	7	2.0	2.0