双频激光干涉仪技术现状与发展

• 作者: 张书练 所睿 李岩 范志军
• 来源期刊: 激光与红外
• 关键词: 双频激光干涉仪 外差干涉 高分辨率 高精度 高测速
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 251-253
• 页数: 3页
• 字数: 2687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2004.04.003

摘要

文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势.