半导体集成电路生产中的洁净技术

• 作者: 陈贤
• 来源期刊: 洗净技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 污染 超净环境
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 专家论坛
• 页码范围: 4-12
• 页数: 9页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 5730字
• 语种: 中文

摘要

文章对半导体集成电路生产中可能接触到的主要污染物类型及造成污染的主要原因做了详细介绍.为减少对半导体集成电路的污染,必须保证半导体集成电路的生产在高度洁净的环境中进行.集成电路制造业是一个在超净化环境中,使用超纯材料,进行超微细加工的产业.文章还对各种洁净标准做了详细介绍.随着集成电路生产目前进入深亚微米及纳米级工艺加工阶段,工艺参数以及图形线宽也发生了变化,因此对洁净度等级、工艺中所使用的材料品种和纯度指标的要求还在不断提升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈贤	中国电子信息产业集团公司信息技术研究院	4	12	2.0	3.0