GaN薄膜生长实时监控系统的实现

• 作者: 徐茵 曲钢
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 外延生长 GaN薄膜 实时监控
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 70-73
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2795字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2004.09.019

摘要

分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响GaN结晶质量的主要因素.在此基础上,设计了一套监控系统,用于GaN外延生长的工艺流程监控,并提出了一种合适的工艺流程监控策略.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐茵	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	26	207	8.0	13.0
5	曲钢	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	2	6	2.0	2.0