基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制

• 作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 光读出热成像 可动微镜阵列 法布里-泊罗干涉仪
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 477-480
• 页数: 4页
• 分类号: TN216
• 字数: 2408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.04.024

摘要

提出了一种新颖的非致冷光读出热成像芯片的设计,其核心部分是一个m×n的可动微镜阵列,可动微镜是由双材料弯折梁及其所支撑的微镜面组成.在红外辐射的作用下,梁发生弯曲带动微镜面发生的位移变化对输出可见光的强度进行调制,即利用光调制原理完成光信号转换和增强.采用体硅MEMS技术,成功地制作出了50×50的可动微镜阵列.测试表明:工艺一致性和残余应力对释放前后可动微镜表面粗糙度与平整度、可动微镜间初始相位以及可动微镜灵敏度的大小产生了重要影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	54	412	11.0	16.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
3	焦继伟	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	24	143	7.0	10.0
4	冯飞	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	15	52	5.0	6.0