陶瓷溅射靶材的发展与应用

• 作者: 吴智华 张骋 蒋丹宇
• 来源期刊: 陶瓷科学与艺术
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射 陶瓷靶材 薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与述评
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TQ17
• 字数: 4361字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7643.2004.01.011

摘要

在信息产业不少基础产品的制造过程中需使用多种陶瓷溅射靶材,世界陶瓷靶材的市场销售规模日益扩大.本文简要介绍了陶瓷靶材的应用分类、性能要求、制备工艺及溅射靶材制造中急需解决的主要技术问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋丹宇	中国科学院上海硅酸盐研究所	37	409	10.0	19.0
2	吴智华	上海大学电子信息材料系	3	37	3.0	3.0
3	张骋	上海大学电子信息材料系	3	37	3.0	3.0