圆片表面薄膜应力传感器设计

• 作者: 向健勇 林晓春 郑亚娥 郭艳艳
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜应力 全闭环控制 集成二元光栅 测量灵敏度 测量误差
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 79-82
• 页数: 4页
• 分类号: O439
• 字数: 3384字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2004.01.023

摘要

为使半导体产品达到所要求的光学、电子和机械性能,必须实时地在沉积过程中直接测量薄膜应力.介绍了一种简便的薄膜应力测量装置方案,它可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106 Pa,精度优于5%.该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑亚娥	西安电子科技大学理学院	3	19	2.0	3.0
2	林晓春	西安电子科技大学技术物理学院	36	305	9.0	16.0
3	郭艳艳	西安电子科技大学理学院	8	40	4.0	6.0
4	向健勇	西安电子科技大学技术物理学院	32	301	11.0	15.0