PDP用电子束蒸镀装置

• 作者: 赵秀秀
• 来源期刊: 显示器件技术
• 学科: 工学
• 关键词: PDP 电子束 蒸镀法 离子镀 厂商 用电 EB 近期
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 60-61
• 页数: 2页
• 分类号: TN873

摘要

电子束蒸镀装置中，离子镀装置被用于MgO膜形成工艺中。以前，MgO膜是通过电子束(EB)蒸镀法而形成的，近期涌现出了采用离子镀法成膜的PDP厂商。这里，将一并介绍电子蒸镀装置和离子镀装置

作者信息

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1	赵秀秀		4	0	0.0	0.0