恒压式气体微流量计的测控系统研制

• 作者: 冯焱 张涤新 成永军 赵定众
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 流量计 气体流量 测量与控制
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 页码范围: 14-19
• 页数: 6页
• 分类号: TH814
• 字数: 4419字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7202.2004.06.004

摘要

恒压式气体微流量计的测控系统是在工控机控制下,采用电容薄膜规、光电编码器、铂电阻温度计等高精度传感器测量出变容室内气体的压力、体积变化率、温度等参量;采用两种恒压控制模式,在流量测量的动态过程中将变容室内气体的压力波动控制在±0.01%之内;工作软件具有虚拟仪器界面,操作方便,实现了对流量计的计算机自动化控制和管理.恒压式气体微流量计能够提供(3.96×10-4～3.64×10-8)Pa·m3/s范围内的气体微流量.在10-8Pa·m3/s范围内的相对合成标准不确定度为1%,在(1×10-7～1×10-4)Pa·m3/s范围内的相对合成标准不确定度为0.7%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯焱		51	463	12.0	17.0
2	张涤新		62	468	12.0	17.0
3	成永军		39	271	9.0	13.0
4	赵定众		8	40	4.0	5.0