国产溅射离子泵主要性能测试及现状

• 作者: 周洪军 殷明 殷立新 王勇 王秋平 赵飞云
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射离子泵 性能测试
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TB752+.52
• 字数: 2989字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.06.006

摘要

在相同的条件下使用同一套测试装置,按照国家机械行业标准JB/T2965-92的要求,对国内几个主要溅射离子泵生产厂家提供的商用溅射离子泵进行性能测试,列出并分析测试结果,使大家对国产溅射离子泵目前的状况有所认识,同时期待国内真空泵厂能够与时俱进,进一步改进和提高溅射离子泵性能以满足国内科技发展的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	507	5142	33.0	48.0
2	王秋平	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	37	235	8.0	13.0
3	周洪军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	41	221	10.0	13.0
4	赵飞云	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	12	41	3.0	5.0
5	殷明	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	3	16	2.0	3.0