SCDI结构快闪存储器件Ⅰ:模拟与分析

• 作者: 欧文 钱鹤
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: SCDI 快闪存储器 编程速度 优化 低电压
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 361-365
• 页数: 5页
• 分类号: TN303
• 字数: 209字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.04.001

摘要

研制成一种台阶沟道直接注入(SCDI)器件,通过在沟道的中间制作一个浅的台阶来改变热载流子的注入方式,从而获得了高的编程速度和注入效率,降低了工作电压.并对SCDI器件结构和常规器件结构进行了模拟分析,提出了改进SCDI器件性能的优化方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱鹤	中国科学院微电子研究所	32	164	7.0	12.0
2	欧文	中国科学院微电子研究所	27	81	6.0	7.0