MEMS技术在微型电磁继电器应用中的探讨

• 作者: 任万滨 李德胜 翟国富 肖伟耀
• 来源期刊: 机电元件
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 微型继电器 磁微执行器
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 3-5,17
• 页数: 4页
• 分类号: TM58
• 字数: 2013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6133.2004.03.001

摘要

基于微机电系统(MEMS)技术研制的微型继电器具有体积小、功耗低、开关迅速、稳定性高等优势,将有效弥补传统电磁继电器和固态继电器之间的不足.以一种微机械电磁继电器为例,介绍了应用MEMS技术的微型电磁继电器的结构特点和工作原理,并分析了影响其动作性能指标的关键参数,最后介绍了MEMS加工制作工艺特点及今后的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翟国富	哈尔滨工业大学军用电器研究所	280	2576	26.0	34.0
2	任万滨	哈尔滨工业大学军用电器研究所	65	592	15.0	21.0
3	李德胜	北京工业大学机电学院	78	461	14.0	16.0
4	肖伟耀	哈尔滨工业大学军用电器研究所	2	8	2.0	2.0