STD总线在陶瓷敏感元件烧结工艺中的应用

• 作者: 陈寿元
• 来源期刊: 山东科学
• 学科: 工学
• 关键词: STD总线 Dahlin控制算法 陶瓷烧结
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 44-46,53
• 页数: 4页
• 分类号: TP399|TS262
• 字数: 2650字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-4026.2004.02.012

摘要

配方及烧结是氧化物半导体陶瓷敏感元件的核心工艺,用STD总线式计算机控制陶瓷烧结工艺过程,可以提高开发新产品的手段和稳定产品质量.在硬件设计上,采用光电隔离、低通滤波和高稳定性的工业控制计算机等;在软件设计上,采用热量预估,Dahlin's控制算法等,为了提高系统的稳定性,还采用对数据自动修复、程序自恢复等设计方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈寿元	山东师范大学信息管理学院	38	113	6.0	9.0