炭/炭复合材料制造硅晶体生长坩埚初探

• 作者: 周九宁 浦保健 蒋建纯 黄伯云
• 来源期刊: 炭素
• 学科: 工学
• 关键词: CZ MCZ 单晶硅 炭/炭复合材料 坩埚
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 3-7
• 页数: 5页
• 分类号: TQ165
• 字数: 4038字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8948.2004.02.001

摘要

多晶硅用直拉法(CZ)或磁场直拉法(MCZ)拉制成单晶硅棒.晶体生长炉热场零件中的石墨发热体、坩埚等在机械应力和热应力的综合作用下发生变形或损坏造成失效,更换频繁.选用纯度高的炭纤维制成待制件的多孔坯体,经过增密、纯化处理制成炭/炭复合材料坩埚.试制的两体12＂炭/炭复合材料坩埚进行了工业性试验.炭/炭复合材料机械强度高、耐热冲击性能和化学稳定性好,其使用寿命大大高于高纯石墨坩埚.两体的连接止口的氧化侵蚀限制了坩埚的使用寿命.单晶硅设备的大型化、炭/炭复合材料势必成为晶体生长炉热场零件的必选材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄伯云	中南大学粉末冶金研究院粉末冶金国家重点实验室	607	8891	43.0	60.0
2	浦保健	中南大学粉末冶金研究院粉末冶金国家重点实验室	6	72	6.0	6.0
3	周九宁	中南大学粉末冶金研究院粉末冶金国家重点实验室	7	37	4.0	6.0
4	蒋建纯	中南大学粉末冶金研究院粉末冶金国家重点实验室	12	89	6.0	9.0