三维形貌检测中自动参考栅技术的改进

• 作者: 亢一澜 周灿林
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 形貌检测 傅里叶变换 相位分布 变形光栅 迭代法
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 587-589,593
• 页数: 4页
• 分类号: O348|O43
• 字数: 2326字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2004.05.009

摘要

通过对形貌检测中理论参考面相位分布规律的分析,对三维形貌轮廓术中参考面相位自动生成技术进行了研究.利用采集的待测物体栅线图样中未变形区域对应相位信息,通过最小二乘迭代法数据拟合,获得理想参考面相位分布参数,也就是获得理想参考面上的相位分布.由于不需另外采集实物参考面变形光栅图像,不仅减少了实物参考面的采集步骤,而且不需要对实物参考面相位进行求解,这样就可以真正实现只采集一幅图像解调形貌,从而提高测试速度,同时还可避免由于采用实物参考面而存在的误差,使得求解兼有理想参考面方法与实物参考面方法的优点.利用改进的方法对塑胶小熊猫面具进行了实际测量,给出了测试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	亢一澜	天津大学力学系	56	896	16.0	29.0
2	周灿林	天津大学力学系	22	292	9.0	16.0