一种微型平面薄膜型酒敏器件的研制

• 作者: 李娟 蔡成森 裘南畹 邢建平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 粉末溅射 薄膜 酒敏 器件
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 479-483
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 3101字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.03.031

摘要

粉末溅射有制靶简单、掺杂容易的特点,并有掺杂稳定的优点.利用反溅,发展了粉末溅射,制备了酒敏微型平面薄膜.对薄膜的相关特性进行了研究,给出了薄膜最佳掺杂范围、最佳灵敏度的膜厚以及响应时间与恢复时间随膜厚变化的规律,总结了最优参数.又测试了器件性能,通过实验对影响灵敏度测试的条件如测试电压和湿度影响灵敏度的规律进行了分析和讨论.结论认为,所研制的粉末溅射微型薄膜酒敏器件性能可靠、灵敏度高、稳定性好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李娟	山东大学信息科学与工程学院	127	921	17.0	26.0
2	邢建平	山东大学信息科学与工程学院	42	177	6.0	11.0
3	裘南畹	山东大学物理与微电子学院	23	36	3.0	4.0
4	蔡成森	山东大学信息科学与工程学院	7	20	3.0	4.0