退火温度对纳米TiO2薄膜结构和亲水性的影响

• 作者: 刘彭义 叶勤 叶海 唐振方 孙汪典 张丽丽 赵丽特
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 TiO2薄膜 退火 晶相转变 亲水性
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 133-136
• 页数: 4页
• 分类号: TN332|O484
• 字数: 3330字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.02.012

摘要

采用射频磁控溅射方法制备出纳米二氧化钛(TiO2)薄膜,研究了不同退火温度对薄膜微观结构和超亲水性的影响.结果表明:退火温度升高,晶粒长大,孔隙率减小;常温制备300 ℃以下退火的TiO2薄膜为无定形结构,亲水性差;400 ℃～650 ℃退火的薄膜为锐钛矿结构,表现出超亲水性;800 ℃退火薄膜为金红石结构,亲水性有所下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶勤	暨南大学物理系	37	351	11.0	16.0
2	唐振方	暨南大学物理系	48	418	11.0	18.0
3	刘彭义	暨南大学物理系	53	370	10.0	18.0
4	孙汪典	暨南大学物理系	26	280	9.0	16.0
5	张丽丽	暨南大学物理系	11	115	5.0	10.0
6	叶海	暨南大学物理系	4	81	3.0	4.0
7	赵丽特	暨南大学物理系	2	65	2.0	2.0