应用光力学效应的非制冷红外成像系统

• 作者: 伍小平 叶甜春 张青川 段志辉 潘亮 王玮冰 陈大鹏
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 光力学 MEMS 焦平面阵列 双材料悬臂梁
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 红外器件
• 页码范围: 83-86
• 页数: 4页
• 分类号: TN215|TP274|TH703
• 字数: 2254字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2004.02.001

摘要

应用光力学效应的非制冷红外焦平面阵列(Focal Plane Array-FPA),配有可见光读出部分的红外成像系统,可以在8至14μm光谱区得到热物体成像.其核心部件是双材料悬臂梁结构的焦平面阵列.不同于利用其他效应的非制冷红外成像系统,此种成像系统可以方便的在室温下正常工作,而且省去了相当复杂的信号转换电路,降低了制备复杂程度和成本.采用MEMS表面硅工艺制备FPA,深入研究了双材料悬臂梁结构成像系统的基本原理、光学读出系统、工艺制备难点,并得到了高温物体红外源的成像响应结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶甜春	中国科学院微电子研究所	200	911	14.0	18.0
2	张青川	中国科学技术大学力学与机械工程系	68	411	12.0	15.0
3	伍小平	中国科学技术大学力学与机械工程系	62	947	16.0	28.0
4	陈大鹏	中国科学院微电子研究所	79	466	10.0	17.0
5	潘亮	中国科学技术大学力学与机械工程系	21	91	5.0	9.0
6	段志辉	中国科学技术大学力学与机械工程系	6	49	3.0	6.0
7	王玮冰	中国科学院微电子研究所	15	46	4.0	5.0