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坡莫合金/铜磁性多层膜微观力学性能的研究
坡莫合金/铜磁性多层膜微观力学性能的研究
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
坡莫合金
铜磁性多层膜
微观力学性能
压痕
划痕
摘要:
本文用直流磁控溅射方法在玻璃基片上制备了具有不同坡莫合金层厚度的坡莫合金/铜磁性多层膜,并采用纳米力学系统分别以压痕法、划痕法测定了坡莫合金层厚度对多层膜显微硬度、弹性模量以及划痕的临界载荷、宽度和深度等的影响.研究结果表明:在既定的接触深度,多层膜的显微硬度及弹性模量随坡莫合金层厚度变化不大,它们分别约为4.5 GPa和80GPa,比坡莫合金单层膜的值低而比铜单层膜的值高;坡莫合金层厚度对多层膜微观摩擦学性能有较大的影响:随坡莫合金层厚度减小,特别是当其小于等于1.6 nm时,划痕有较高的临界载荷、较小的宽度和较浅的残余深度;多层膜的划痕临界载荷高于坡莫合金单层膜的值.
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文献信息
篇名
坡莫合金/铜磁性多层膜微观力学性能的研究
来源期刊
真空科学与技术学报
学科
物理学
关键词
坡莫合金
铜磁性多层膜
微观力学性能
压痕
划痕
年,卷(期)
2004,(z2)
所属期刊栏目
技术交流
研究方向
页码范围
42-45,49
页数
5页
分类号
O484.2
字数
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中文
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研究来源
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研究去脉
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期刊影响力
真空科学与技术学报
主办单位:
中国真空学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮发代号:
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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