硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计

• 作者: 姚东媛 文彬 谢胜秋 邹向光
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅-蓝宝石 压力传感器芯片 调整电阻
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 40-41,44
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 834字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2004.09.015

摘要

介绍了硅-蓝宝石压力传感器芯片外延硅层上调整电阻的设计和应用,通过设计调整电阻来实现芯片的电桥平衡,达到了调整其输出特性、改善传感器性能、提高芯片适用性的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢胜秋	中国电子科技集团公司第四十九研究所	8	10	2.0	2.0
2	邹向光	中国电子科技集团公司第四十九研究所	9	24	3.0	4.0
3	姚东媛	中国电子科技集团公司第四十九研究所	8	12	2.0	2.0
4	文彬	中国电子科技集团公司第四十九研究所	2	14	2.0	2.0