AMRAY-1000B扫描电镜真空系统分析及维修

• 作者: 孔明光
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 扫描电子显微镜 真空
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 使用与维修
• 页码范围: 60-61
• 页数: 2页
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2004.04.021

摘要

本文系统地对AMRAY-1000B扫描电镜真空系统原理进行分析,并给出维修实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔明光	中国科学院固体物理研究所	14	63	5.0	7.0