非晶硅紫外线传感器

• 作者: 吴能 杨清风
• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶硅紫外线传感器 超晶格结构膜 灵敏度 光传感器
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 85-89
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.14

摘要

开发了1种带有超晶格蛄构膜(用先-CVD法制作)的新型非晶硅(a-Si)紫外线传感嚣。a-Si紫外线传感器的蛄构为：石英／TCO／超晶格P层／in层／金属层．与常规的pin型a-Si光传感器比较，在短波长区域内，a-Si紫外线传感嚣的灵敏度有了进一步改善。a-Si紫外线传感嚣的特点是：灵敏度高、生产成本低和可靠性高．