非晶硅薄膜光吸收系数的研究

• 作者: 钱祥忠
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 非晶硅 光吸收系数 波长范围
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 20-22
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1771字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2004.02.006

摘要

用化学气相沉积法制备非晶硅薄膜,测量了样品的光吸收系数及其波长区域范围.测得在最佳工艺条件下,非晶硅薄膜的光吸收系数随入射光波长增大而减小,随衬底温度升高而增大,随射频功率和反应气体流量的增大而减小,在700 nm附近的光吸收系数不低于1×103 cm-1,满足高性能液晶光阀对光电导层的性能要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱祥忠		12	76	5.0	8.0