双光子三维微细加工的分辨率研究

• 作者: 夏安东 徐藻 王翔 蒋中伟 袁大军 郭锐 黄文浩
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 等光强面 双光子激发 三维微细加工
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 31-36
• 页数: 6页
• 分类号: TN24
• 字数: 3740字
• 语种: 中文

摘要

为了改善双光子加工的成型精度和微器件的质量,提高加工系统的分辨率是十分重要的.根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨率的理论分析,提出等光强面概念,并在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨率之间的关系.通过不同光强条件下双光子三维加工固化单元的实验,验证了等光强面和系统分辨率之间的对应关系,并分析了出现微小差异的原因.根据上述理论模型,可以估算一定实验条件下系统可实现的加工分辨率,优化加工工艺参数.最后给出了部分微器件的成型结果.