高效复制的秘诀:压模的质量

• 作者: 陈垦
• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 母盘 光刻胶 盘基 衍射级 缺陷检测 图像处理 中心孔 测量系统 衍射强度 检测工具
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: TQ596

摘要

【正】引言 20多年以来,光盘已经走过了一段很长的历程。正如许多美好的理想那样,光盘已经繁衍了许多相关的应用,而其技术的进步继续在打开新的大门,发展的步伐似乎没有减慢的迹象。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈垦		1	0	0.0	0.0