掺铒Al2O3薄膜的性能与制备

• 作者: 宋琦 李国卿 柳翠 王丽阁 高景生 黄开玉
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 掺铒 Al2O3薄膜 光致发光 中频 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 11-14,18
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2004.06.003

摘要

简述了几种Al2O3薄膜的制备方法,使用中频孪生靶非平衡磁控溅射系统制备了掺铒Al2O3薄膜,并对其进行检测,结果表明该方法制备的薄膜适于制作光纤放大器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高景生	大连理工大学物理系	7	62	4.0	7.0
2	李国卿	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	58	411	12.0	16.0
3	宋琦	大连理工大学物理系	12	66	5.0	7.0
4	黄开玉	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	7	53	4.0	7.0
5	柳翠	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	8	93	5.0	8.0
6	王丽阁	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	7	33	3.0	5.0