微电子机械系统的尺寸效应

• 作者: 刘凯 王秀红 韩光平
• 来源期刊: 西安理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 尺寸效应 相对性 绝对性 微机械
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 145-148
• 页数: 4页
• 分类号: TH112
• 字数: 4088字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4710.2004.02.008

摘要

针对微电子机械系统(MEMS)在特征尺寸处于微米量级时呈现的特性与宏观机械不同,阐述了尺寸效应对MEMS基础理论研究的重要意义.研究了尺寸的相对性、绝对性以及尺寸效应的基本概念,讨论了几何尺寸效应和力尺寸效应以及其他一些重要物理量的尺寸效应,提出了广义尺寸效应及狭义尺寸效应,为MEMS创新设计及基础理论的系统性研究提出一个新的切入点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘凯	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	112	569	13.0	16.0
2	韩光平	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	7	105	7.0	7.0
6	王秀红		46	373	11.0	18.0