用侧向力显微镜表征纳米级DLC膜摩擦性能

• 作者: 丁建宁 朱守星 李长生 杨继昌 范真 蔡兰 陈曦
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: DLC膜 LFM 摩擦 标定
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 230-232,237
• 页数: 4页
• 分类号: TB333|TH117
• 字数: 3042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.03.018

摘要

本文用侧向力显微镜(Lateral Force Microscope,LFM)研究不同厚度类金刚石(Diamond-Like Carbon,DLC)膜的摩擦性能.对厚度为153.4 nm,64.9 nm,12.07nm DLC膜摩擦力和法向力的关系进行研究,实验表明施加较低载荷,摩擦力和法向力成线性关系,符合Amontons's定律;而膜厚为4.48nm、2.78 nm样品由于粗糙度、峰态和偏态的差异导致摩擦力和载荷关系不明显,研究指出针尖和薄膜的表面接触可以简化为Tomlinson模型,借助原子晶格振动的无损摩擦机理解释了这一现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李长生	江苏大学微纳米技术研究中心	127	626	12.0	18.0
2	蔡兰	江苏大学微纳米技术研究中心	124	1736	24.0	35.0
3	丁建宁	江苏大学微纳米技术研究中心	146	769	14.0	19.0
4	杨继昌	江苏大学微纳米技术研究中心	108	1546	22.0	34.0
5	朱守星	江苏大学微纳米技术研究中心	8	44	5.0	6.0
6	范真	江苏大学微纳米技术研究中心	61	532	11.0	20.0
7	陈曦	江苏大学微纳米技术研究中心	37	114	7.0	9.0