亟待开发的无机电子化学品

• 作者: 王敏
• 来源期刊: 精细与专用化学品
• 学科: 工学
• 关键词: 电子化学品 过氧化氢 氢氟酸 五氧化二锑
• 年，卷（期）: 2004,（24）
• 所属期刊栏目: 新品介绍
• 页码范围: 13-14
• 页数: 2页
• 分类号: TQ1
• 字数: 1951字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1100.2004.24.005

摘要

综述了半导体用过氧化氢、氢氟酸、三氧化二锑和二氧化硅薄膜等超细高纯无机电子化学品,印刷电路板和电池方面用的高纯二氧化硅、五氧化二锑和二氧化锰等无机电子化学品,介绍了超纯过氧化氢、超纯氢氟酸、五氧化二锑和γ-二氧化锰的制备方法.