TEL Mark-8轨道T＆H-NRC-1-A型温湿度空气调节器原理介绍及故障分析

• 作者: 周林 郭晶磊
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 温度 湿度 冷冻机 蒸发 压缩 凝聚 膨胀
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2004.01.017

摘要

本文介绍了在半导体设备TEL Mark-8中T&H-NRC-1-A型温湿度空气调节器的基本原理及一般故障分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭晶磊		3	1	1.0	1.0
2	周林		3	3	1.0	1.0