电子束真空辐射固化技术基础研究

• 作者: 孔祥东 孙晓军 宋会英 张玉林
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 低聚物 辐射固化 电子束 真空
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 10-13,18
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3503字
• 语种: 中文

摘要

提出了电子束真空辐射固化技术新概念,并对该技术的固化机理等进行了阐述.通过对液态低聚物辐射固化条件和SDS-Ⅱ型曝光机的加速电压、曝光剂量等曝光参数的分析研究,得出SDS-Ⅱ型曝光机可以用于液态低聚物辐射固化的结论.在此基础上使用SDS-Ⅱ型曝光机在20 kV的加速电压、2μC/cm2的曝光剂量下,对经真空挥发处理过的三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)液态低聚物进行了曝光试验,得到了固化结构.基本上证明了电子束真空辐射固化液态低聚物的可行性,为微机电三维微结构的加工提供了一种新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋会英		6	31	4.0	5.0
2	张玉林		18	76	5.0	8.0
3	孔祥东		3	21	3.0	3.0
4	孙晓军		1	8	1.0	1.0