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摘要:
提出了电子束真空辐射固化技术新概念,并对该技术的固化机理等进行了阐述.通过对液态低聚物辐射固化条件和SDS-Ⅱ型曝光机的加速电压、曝光剂量等曝光参数的分析研究,得出SDS-Ⅱ型曝光机可以用于液态低聚物辐射固化的结论.在此基础上使用SDS-Ⅱ型曝光机在20 kV的加速电压、2μC/cm2的曝光剂量下,对经真空挥发处理过的三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)液态低聚物进行了曝光试验,得到了固化结构.基本上证明了电子束真空辐射固化液态低聚物的可行性,为微机电三维微结构的加工提供了一种新方法.
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文献信息
篇名 电子束真空辐射固化技术基础研究
来源期刊 微细加工技术 学科 工学
关键词 低聚物 辐射固化 电子束 真空
年,卷(期) 2004,(3) 所属期刊栏目 电子束技术
研究方向 页码范围 10-13,18
页数 5页 分类号 TN305.7
字数 3503字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 宋会英 6 31 4.0 5.0
2 张玉林 18 76 5.0 8.0
3 孔祥东 3 21 3.0 3.0
4 孙晓军 1 8 1.0 1.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
低聚物
辐射固化
电子束
真空
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微细加工技术
双月刊
1003-8213
43-1140/TN
大16开
湖南省长沙市
1983
chi
出版文献量(篇)
672
总下载数(次)
2
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
山东省自然科学基金
英文译名:Natural Science Foundation of Shandong Province
官方网址:http://kyc.wfu.edu.cn/second/wnfw/shandongshengzirankexuejijin.htm
项目类型:重点项目
学科类型:
论文1v1指导