用微波ECR等离子体增强磁控溅射沉积法在玻璃上镀膜

• 作者: 孙洪福 汤华娟 王承遇 邓新绿 陶瑛
• 来源期刊: 玻璃与搪瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 玻璃表面 硅膜 磁控溅射 微波 等离子体
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与实验报告
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.73+1
• 字数: 1782字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2871.2004.02.004

摘要

利用微波ECR等离子体增强磁控溅射沉积技术在玻璃表面制备了硅膜.研究了所得硅膜的表面形貌、附着力和化学稳定性及其红外-可见光谱特性.结果表明此法制备的硅膜均匀性好,附着力及化学稳定性高,对近红外波段有较低的透过率和较高的反射率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王承遇	大连轻工业学院玻璃及无机新材料研究所	154	771	15.0	23.0
2	陶瑛	大连轻工业学院玻璃及无机新材料研究所	118	408	9.0	17.0
3	邓新绿	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	28	356	9.0	17.0
4	孙洪福	大连轻工业学院玻璃及无机新材料研究所	6	27	4.0	5.0
5	汤华娟	大连轻工业学院玻璃及无机新材料研究所	8	34	4.0	5.0