生物光电分析芯片的研制

• 作者: 孟丽囡 陈永真
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 流动分析 光电管 DNA
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究动态
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 分类号: TN364
• 字数: 1716字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2004.03.004

摘要

用微电子技术工艺研制的生物光电分析芯片可以对DNA进行流动分析.芯片上包括荧光检测器、电阻加热器和温度传感器.其中,荧光检测器是由一排NPN型硅光电三极管组成的,检测的荧光波长为700nm.为了提高光电管的响应灵敏度,三极管的BC结面积设计得较大,用硼离子注入制成浅PN结.为了防止等离子刻蚀引线孔时损伤硅层,采用了先蒸铝刻出压焊电极后,淀积增透膜再刻出电极的工艺.该芯片参数符合应用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈永真	辽宁工学院信息科学与工程学院	47	111	5.0	10.0
2	孟丽囡	辽宁工学院信息科学与工程学院	14	108	5.0	10.0